洁净无尘室测试方法

一、风速风量测定

(1)对于单向流洁净无尘室，采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量。离高效过滤器0.3m，垂直于气流的截面作为采样测试截面，截面上测点间距不宜大于0.6m，测点数不应少于5个，以所有测点风速读数的算术平均值作为平均风速。

(2)对于非单向流洁净无尘室，采用风口法或风管法确定送风量，做法如下：

1)风口法是在安装有高效过滤器的风口处，根据风口形状连接辅助风管进行测量。即用镀锌钢板或其他不产尘材料做成与风口形状及内截面相同，长度等于2倍风口长边长的直管段，连接于风口外部。在辅助风管出口平面上，按较少测点数不少于6点均匀布置，使用热球式风速仪测定各测点的风速。然后，以求取的风口截面平均风速乘以风口净截面积求取测定风量。

2)对于风口上风侧有较长的支管段，且已经或可以钻孔时，可以用风管法确定风量。测量断面应位于大于或等于局部阻力部件前3倍管径或长边长，局部阻力部件后5倍管径或长边长的部位。

对于矩形风管、是将测定截面分割成若干个相等的小截面。每个小截面尽可能接近正方形，边长不应大于200mm，测点应位于小截面中心，但整个截面上的测点数不宜少于3个。

对于圆形风管，应根据管径大小，将截面划分成若干个面积相同的同心圆环，每个圆环测4点。根据管径确定圆环数量，不宜少于3个。

二、静压差的检测

(1)静压差的测定应在所有的门关闭的条件下，由高压向低压，由平面布置上与外界较远的里间房间开始，依次向外测定。

(2)采用的微差压力计，其灵敏度不应低于2.0Pa。

(3)有孔洞相通的不同等级相邻的洁净无尘室，其洞口处应有合理的气流流向。洞口的平均风速大于等于0.2m/s时，可用热球风速仪检测。

三、洁净无尘室温度、湿度测定

(1)根据温度和相对湿度波动范围，应选择相应的具有足够精度的仪表进行测定。每次测定间隔不应大于30min。

(2)室内测点布置：

1)送回风口处；

2)恒温工作区具有代表性的地表(如沿着工艺设备周围布置或等距离布置)；

3)没有恒温要求的洁净无尘室中心；

4)测点一般应布置在距外墙表面大于0.5m，离地面0.8m的同一高度上；也可以根据恒温区的大小，分别布置在离地不同高度的几个平面上。

(4)有恒温恒湿要求的洁净无尘室：室温波动范围按各测点的各次温度中偏差控制点温度的较大值，占测点总数的百分比整理成累积统计曲线。如90%以上测点偏差值在室温波动范围内，为符合设计要求。反之，为不合格。54.vip永利皇宫棋牌净化可提供无尘室、洁净车间的咨询、规划、设计、施工、安装改造等配套服务。

区域温度以各测点中较低的一次测试温度为基准，各测点平均温度与超偏差值的点数，占测点总数的百分比整理成累计统计曲线，90%以上测点所达到的偏差值为区域温差，应符合设计要求。相对温度波动范围可按室温波动范围的规定执行。

四、泄漏量测定

(1)高效过滤器的检漏，应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计数器。D类高效过滤器宜使用激光粒子计数器或凝结核计数器。

(2)采用粒子计数器检漏高效过滤器，其上风侧应引入均匀浓度的大气尘或含有他气溶胶尘的空气。对大于等于0.5μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×10⁵pc/m³；对大于或等于0.1μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×10⁷pc/m³；若检测D类高效过滤器，对大于或等于0.1μm尘粒，浓度应大于或等于3.5×10⁹pc/m³。

(3)高效过滤器的检测采用扫描法，即在过滤器下风侧用粒子计数器的等动力采样头，放在距离被检部位表面20~30mm处，以5~20mm/s的速度，对过滤器的表面、边框和封头胶处进行移动扫描检查。

(4)泄漏率的检测应在接近设计风速的条件下进行。将受检高效过滤器下风侧测得的泄漏浓度换算成透过率，高效过滤器不得大于出厂合格透过率的2倍；D类高效过滤器不得大于出厂合格透过率的3倍。

(5)在移动扫描检测工程中，应对计数突然递增的部位进行定点检验。

本文由54.vip永利皇宫棋牌净化CCG(www.ccg-sz.com)提供，转载请注明出处。