洁净车间工程隔离装置的检测

一、洁净车间工程隔离装置和定位检漏

根据相关规范的要求，对隔离装置应进行检漏测试。对工作压力接近大气压的隔离装置(压差小于1000Pa)进行气密性检测时，为对泄漏进行定量测量，需要有详细的检测规程和灵敏的检测设备。测试结果将决定其是否可投入预期的应用，适用时对某些隔离装置应进行检漏测试。因气流通过孔洞时，由于风速产生低压，它能诱导空气逆向流动穿过该孔洞(文丘里效应)，这时可发生泄漏。会影响在低压差下工作的装置，同样地那些利用正压或气流来尽量减少或防止无需物质传递的装置，操作中瞬间的容积变化(例如手套进入或抽出)可导致出现风险。

1.诱导检漏

对那些利用压力或气流产生风速或质量流，以减少或阻止无需物质传输的隔离装置，应采用可再现的定量检测方法来确定该系统的隔离能力。检测方法中应考虑的因素包括：

(1)正常运行；

(2)静态或备用状态；

(3)(1)和(2)期间的过渡性变化；

(4)压力或气流故障。

在使用手套和手套系统的场合，操作者同时插入或抽出手套时，瞬间的容积变化可能导致大于1000Pa的压差改变，检测应包括这种容积瞬间变化。

任何有类似容积效应的设备都应进行这种检漏。检测设备和方法：检测设备和检测规程应适合于工艺。合适的检测设备应包括：气溶胶发生器和光度计；气溶胶发生器和双读数离散粒子计数器；旋流盘液滴发生器或类似装置及合适的探测系统。具体方法是在隔离装置外面的关注区域生成气溶胶，比较内外粒子的浓度，确定是否有显著泄漏。

2.定位检漏

封闭式隔离装置的压力状态是维持其正常性能的重要方面。往往习惯性地认为隔离装置的泄漏是均匀分布的，而非来自某个通道。这种假设对隔离装置可能不适用，因为某个通道可能造成隔离装置内或外的局部空气的严重超标。因此应强调检漏的重要性，当因内外压差在某些部位存在显著泄漏时，简单的定位方法是将大量肥皂液涂抹到被测隔离装置的可疑区域，肥皂泡可明示出泄漏所在。另外两种常用的定位方法：一是向隔离装置内充入氦气或其他适用气体，使隔离装置内达到1000Pa的正压，然后用适用探头监测可疑区域，使用惰性气体检测时要格外小心；二是先用氨气加压，然后用湿pH试纸检测；或利用烟雾直观检测、照相、录像等可视检查。54.vip永利皇宫棋牌净化可提供洁净车间、净化工程的咨询、规划、设计、施工、安装改造等配套服务。

按照对压力检漏的不同灵敏度，有以下排序：

(1)用适当的表面活性剂进行气泡检测；

(2)使用热传导探头探测CO₂，He，Ar等气体；

(3)使用电离检测器探测SF₆；

(4)使用氦质谱检漏仪探测氦气。需要注意的是，氦气会渗入聚合材料，材料释放气体可能产生信号。

采用上述示踪气体的方法，可以辨别泄漏程度，但都不能定量。

二、洁净车间工程隔离装置气密性压力检漏

检漏方法如下：

对刚性壁负压隔离装置，相关规范规定了三种检漏方法：含氧法、压力变化法和恒压法。普通泄漏量检测在正常工作压力(通常约250Pa)下进行，验收检测的压力可高达1000Pa。上述方法是为负压检测规定的，其中只有含氧法既可进行正压检测，又可进行负压检测。在接近于大气状况的压力检测，温度等环境参数变化会影响检测结果，采用灵敏的仪器测量各项参数有助于提高检测的准确度。在正常运行或系统故障期间，隔离装置可能出现正压也可能出现负压。

不论正压还是负压，验收检测时须对被测隔离装置的超高压或超低压情况采取安全防范措施。测试时禁止出现压力超过经过验证的试验压力，否则薄壁等部分可能会出现结构性损伤。即使是低气压试验也可能造成轻型结构塌陷等损伤，对设备进行高或中度压力气密性检测时需要关注更多问题。隔离装置的升压检测需要恒定的容积，这类检测方法对微小的容积变化很敏感，任何容易出现容积变化的已安装设备不仅会造成虚假试验结果，还可能会使密封油和油脂等物质外泄。

如果检测介质采用压力容器中的惰性气体，就须在试验前安装必要的减压和调压设备，并在检查过那些设备之后再进行检测。需要特别注意“主动式”隔离装置的检测，须遵守地方安全法规。检测前要认真调查，保证采用安全方式对隔离装置进行隔离，并可在紧急情况下迅速返回到正常工作状态。进行检测前，隔离装置须处于静止状态，隔离装置的壁板或其他结构脆弱时，它的“晃动”或移动容易改变容积，如可能应在检测期间对其加固。被试隔离装置需要位于无阳光直射、通风不畅的地方。为保证所有设备温度相同，检测设备应在检测前约30min或更长的时间就位。

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